江苏鲁汶仪器取得一种离子束工艺腔室及离子刻蚀设备专利，减少轰击反应腔室的几率

国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司取得一项名为“一种离子束工艺腔室及离子刻蚀设备”的专利，授权公告号CN223638324U，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种离子束工艺腔室及离子刻蚀设备，本方案包括离子腔室、反应腔室、晶圆载台以及束缚板，其中，离子腔室具有离子源，与反应腔室衔接处为喷射口，离子源通过喷射口在反应腔室内形成离子束；晶圆载台布置在反应腔室内；束缚板布置于喷射口处，以调整离子束的轰击角度。本申请的离子束工艺腔室在喷射口处设置有束缚板，通过该束缚板能够通过调整离子束的轰击角度达到调整离子束的轰击面积，从而减少轰击反应腔室的几率；另外该束缚板为非金属材质，因此不会游离出金属，出降低工艺过程中带来的金属及颗粒污染。

天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目253次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息460条，此外企业还拥有行政许可14个。

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