昂坤视觉申请一种晶圆吸附装置专利，避免晶圆中心受力不均衡而出现塌陷

国家知识产权局信息显示，昂坤视觉（北京）科技有限公司申请一项名为“一种晶圆吸附装置”的专利，公开号CN121075992A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明提供一种晶圆吸附装置，涉及晶圆加工领域，晶圆吸附装置包括装置主体、设于装置主体上的吸附机构及设于装置主体上且连通吸附机构的管道机构；吸附机构包括基体及设于基体下方的背板组件，基体靠近背板组件的一侧、且由基体的中心向外间距设有多个同心腔槽，背板组件包括多个背板，背板与腔槽对应设置以使背板与腔槽组合形成多个腔体，管道机构连通腔体与气缸；基体上方设有多个吸附立柱，吸附立柱设有中心通孔，中心通孔连通腔体，以通过与不同腔体连通的吸附立柱吸附不同尺寸的晶圆片。本申请通过在腔体的对应处设有多个吸附立柱，且在基体的中心设置有密集的吸附立柱，提高晶圆中心的受力，避免了晶圆中心受力不均衡而出现塌陷的情况。

天眼查资料显示，昂坤视觉（北京）科技有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1312.0014万人民币。通过天眼查大数据分析，昂坤视觉（北京）科技有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目43次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息55条，此外企业还拥有行政许可7个。

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