江苏鲁汶仪器申请图形对准精度控制方法专利，提高半导体器件良率

国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种图形对准精度控制方法、刻蚀设备及存储介质”的专利，公开号CN121215585A，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本申请提供一种图形对准精度控制方法、刻蚀设备及存储介质，方法包括：在待刻蚀结构的表面形成光刻胶，光刻胶包括实际曝光后的第一实际图形。获取光刻胶在理想曝光后的理想图形，确定第一实际图形的第一实际中心位置指向理想图形的理想中心位置的第一偏差距离和第一偏差方向，沿着第一偏差方向对光刻胶刻蚀至少第一偏差距离，得到第二实际图形，第二实际图形至少包括理想中心位置，即通过利用在理想曝光后的理想图形确定第一实际图形的对准偏差数据，而后利用对准偏差数据对第一实际图形进行修饰，从而实现修饰后得到的第二实际图形和理想图形的对准偏差降低，实现对图形的对准精度进行控制，进而提高半导体器件的良率。

天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目257次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息466条，此外企业还拥有行政许可14个。

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