苏磁智能申请悬挂式中空轴磁悬浮晶圆制造设备专利，显著提高薄膜质量

国家知识产权局信息显示，苏州苏磁智能科技有限公司申请一项名为“一种悬挂式中空轴磁悬浮晶圆制造设备”的专利，公开号CN121215600A，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本发明公开了一种悬挂式中空轴磁悬浮晶圆制造设备，包括工艺腔室、支撑部件、中空轴、隔离套、保持架和主动式磁悬浮电机，隔离套与工艺腔室顶部的第一开口密封连接，主动式磁悬浮电机包括磁悬浮定子和磁悬浮转子，磁悬浮转子、中空轴及保持架均设于真空环境内，磁悬浮转子与中空轴固定连接，支撑部件设于中空轴内，磁悬浮定子设于隔离套外并以无接触主动控制的方式驱动磁悬浮转子稳定悬浮和旋转，保持架的一端与中空轴固定连接，保持架的另一端配置为承载晶片，以使晶片以悬挂的方式设置于工艺腔室内。本发明不需要设置机械轴承，不会产生的颗粒污染，从而显著提高薄膜质量，设备整体的使用寿命大大提高，从而可以降低设备维护及清洁成本。

天眼查资料显示，苏州苏磁智能科技有限公司，成立于2017年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1564.0624万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州苏磁智能科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息103条，专利信息137条，此外企业还拥有行政许可6个。

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