武汉驿天诺科技申请晶圆平坦度测量装置及方法专利，避免探针与凸起部位挤压过紧而折弯

国家知识产权局信息显示，武汉驿天诺科技有限公司申请一项名为“一种晶圆的平坦度测量装置及方法”的专利，公开号CN121230674A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明属于晶圆平坦度检测领域，提供了一种晶圆的平坦度测量装置及方法，其中一种晶圆的平坦度测量装置包括工作台，所述工作台的上端面固定连接有定位座，所述工作台的上端面水平滑动连接有移动架，所述移动架的中部固定连接有升降杆，所述升降杆的伸缩端固定连接有滑动架，所述滑动架与移动架竖向滑动连接，所述滑动架的底面滑动连接有若干个连接座，所述滑动架上设置有带动所有连接座水平直线移动的第二驱动组件。本发明中，PLC控制器控制二号电磁块通电，二号电磁块对挡板产生磁吸力，当探针遇到凸起部位上移时，随着凸起部位越高，此时二号电磁块对挡板的磁吸力越大，避免探针与凸起部位挤压过紧而折弯。

天眼查资料显示，武汉驿天诺科技有限公司，成立于2009年，位于武汉市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1445.3773万人民币。通过天眼查大数据分析，武汉驿天诺科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目13次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息39条，此外企业还拥有行政许可5个。

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