江苏扬贺扬微电子申请基于芯片制造工艺参数分析的数据处理系统及方法专利,实现对生产线晶圆的实时监测

市场资讯 2026-01-06 13:01:50
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国家知识产权局信息显示,江苏扬贺扬微电子科技有限公司申请一项名为“一种基于芯片制造工艺参数分析的数据处理系统及方法”的专利,公开号CN121279116A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明公开了一种基于芯片制造工艺参数分析的数据处理系统及方法,涉及半导体制造技术领域,本发明对历史生产数据进行标准化预处理,构建标准化数据集。随后采用梯度提升树机器学习模型训练良率预测模型,通过计算模型对各工艺参数的偏导数,结合参数自身的波动性,量化每个工艺参数对良率波动的全局贡献度。基于贡献度评估结果,系统自动将工艺参数分为关键参数和非关键参数两类。针对关键工艺参数,根据其历史数据统计特征设定工艺控制上限和下限,实现对生产线晶圆的实时监测。当检测到参数值超出控制范围时立即触发报警机制,确保及时处理异常情况。

天眼查资料显示,江苏扬贺扬微电子科技有限公司,成立于2016年,位于无锡市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本5708.1667万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏扬贺扬微电子科技有限公司共对外投资了4家企业,财产线索方面有商标信息13条,专利信息39条,此外企业还拥有行政许可18个。

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