锐石创芯申请镀膜架及真空镀膜机专利，晶圆的镀膜过程具有更大的灵活性

国家知识产权局信息显示，锐石创芯（重庆）科技股份有限公司申请一项名为“镀膜架及真空镀膜机”的专利，公开号CN121272356A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本发明提出一种镀膜架及真空镀膜机，镀膜架包括支撑结构、承载组件和锁定组件，支撑结构设置有至少一个通孔，承载组件的数量为至少一个，承载组件设置于通孔内，承载组件相对支撑结构可转动连接。承载组件包括承载件、第一限位件和第二限位件，承载件设置有容置孔，容置孔用于容置晶圆，第一限位件和第二限位件与承载件连接且至少一者相对于承载件可伸缩设置，第一限位件和第二限位件在承载件的厚度方向上间隔设置，且容置孔内的晶圆位于第一限位件和第二限位件之间。锁定组件设置于承载件的边缘，锁定组件用于锁定承载件和支撑结构。该镀膜架具有可以起到简化工艺和降低材料成本、晶圆的镀膜过程具有更大的灵活性的有益效果。

天眼查资料显示，锐石创芯（重庆）科技股份有限公司，成立于2017年，位于重庆市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本43444.8089万人民币。通过天眼查大数据分析，锐石创芯（重庆）科技股份有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息298条，此外企业还拥有行政许可31个。

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