亚格盛申请用于储存高纯度固态源材料的容器预处理方法及系统专利,确保其在整个使用周期内输出浓度高度稳定

市场资讯 2026-01-08 17:31:09
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国家知识产权局信息显示,安徽亚格盛电子新材料股份有限公司申请一项名为“一种用于储存高纯度固态源材料的容器预处理方法及系统”的专利,公开号CN121272369A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明涉及半导体技术领域,具体公开了一种用于储存高纯度固态源材料的容器预处理方法,包括以下步骤:初始填充与称重:向钢瓶中加入定量的目标固体源材料,称重并记录初始总重量;制作涂层:将填充后的钢瓶置于加热设备中,启动设备对钢瓶进行程序化的加热与冷却循环处理,固体源材料受热升华,其蒸汽充分接触并吸附于钢瓶整个内表面,形成一层均匀的预饱和涂层。本发明提供的用于储存高纯度固态源材料的容器预处理方法,在钢瓶充装销售产品前,预先在其内表面形成一层稳定的源分子饱和层,从而有效隔离后续填充的固体源与活性金属内壁,确保其在整个使用周期内输出浓度高度稳定,并大幅提升最终使用效率。

天眼查资料显示,安徽亚格盛电子新材料股份有限公司,成立于2012年,位于芜湖市,是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本10329.9356万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽亚格盛电子新材料股份有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目36次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息112条,此外企业还拥有行政许可71个。

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