昕感科技取得防破片传片机手臂结构专利,减少与晶圆的刚性碰撞问题

市场资讯 2026-01-09 17:12:24
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国家知识产权局信息显示,江苏昕感科技有限责任公司取得一项名为“一种防破片的传片机手臂结构”的专利,授权公告号CN223786476U,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域,尤其是一种防破片的传片机手臂结构,包括用于连接控制单元的臂,在所述臂的前端上侧可拆卸连接有吸附座,所述吸附座的端面上具有气孔;其中所述臂的内部具有一气道,所述气孔通过接合组件与所述气道相连通;在所述臂以及吸附座的前端均有一避让面,本实用新型中通过采用在连接部以及吸附座的避让面的设计,用于减薄整体的前端厚度,采用倾斜面结构当臂插入晶圆盒中时减少与晶圆的刚性碰撞问题,其次连接部与吸附座之间的整体厚度采用2mm设计,在保证整体强度的情况下,可提供在晶圆盒的上下晶圆之间更多的移动空间,如此即使晶圆在一定范围内发生翘曲。

天眼查资料显示,江苏昕感科技有限责任公司,成立于2022年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本35000万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏昕感科技有限责任公司参与招投标项目7次,专利信息31条,此外企业还拥有行政许可49个。

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