思锐智能申请原子层沉积反应腔室压力监测方法专利，提高整个反应腔室压力监测的鲁棒性

国家知识产权局信息显示，青岛思锐智能科技股份有限公司申请一项名为“一种原子层沉积反应腔室压力监测方法、系统及电子设备”的专利，公开号CN121298102A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本申请提供一种原子层沉积反应腔室压力监测方法、系统及电子设备，该方法应用于原子层沉积反应系统中的控制模块，该原子层沉积反应系统还包括：反应腔室以及设置在反应腔室内不同位置的多个压力传感模块。该方法通过在反应腔室压力控制流程中引入故障阈值判断触发机制，仅当压力传感模块采集到的压力测量值均未偏离冗余阈值时才进行目标气压计算，若所有采集到的压力测量值偏离故障阈值，则直接输出系统故障提醒消息，若仅部分压力测量值偏离故障阈值，则输出压力传感模块故障提醒消息，如此可在确保目标气压计算精度的同时，提高整个反应腔室沉积反应腔室压力监测的鲁棒性，并且减少计算目标气压所需的数据量，节约计算资源，减轻硬件计算负担。

天眼查资料显示，青岛思锐智能科技股份有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本135298.7908万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目75次，财产线索方面有商标信息24条，专利信息170条，此外企业还拥有行政许可25个。

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