天芯微申请选择性外延生长评估方法专利，可系统准确地评估外延生长选择性

国家知识产权局信息显示，江苏天芯微半导体设备有限公司申请一项名为“一种选择性外延生长的选择性评估方法”的专利，公开号CN121335500A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明公开了一种选择性外延生长的选择性评估方法，包括：S1、提供多个实验用衬底，在不同工艺条件下对多个实验用衬底分别实施选择性外延生长，得到多组实验数据，包括雾度变化值、颗粒密度变化值和选择性生长质量因子；S2、拟合建立选择性生长质量因子与雾度变化值、颗粒密度变化值的数学关系式；S3、提供待测衬底，对所述待测衬底进行选择性外延生长，测量得到待测衬底在外延前后的雾度变化值和颗粒密度变化值；S4、将待测衬底的雾度变化值和颗粒密度变化值代入所述数学关系式，得到所述待测衬底的选择性生长质量因子，并与第一预设阈值比较，判定所述待测衬底的外延生长选择性是否达标。本发明可以系统、准确地评估外延生长选择性。

天眼查资料显示，江苏天芯微半导体设备有限公司，成立于2019年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16385.15万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏天芯微半导体设备有限公司参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息43条，专利信息174条，此外企业还拥有行政许可18个。

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