芯晖装备申请供电装置及晶圆测试设备专利，提高了对待测对象供电的稳定性

国家知识产权局信息显示，浙江芯晖装备技术有限公司;上海芯晖芯智技术有限公司申请一项名为“一种供电装置及晶圆测试设备”的专利，公开号CN121347861A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种供电装置及晶圆测试设备，涉及半导体晶圆测试领域，针对晶圆的功能测试及老化测试，包括电源模块，输出端与控制模块的供电端及驱动模块的供电端连接，控制模块及驱动模块供电；控制模块，反馈端与采样模块的输出端连接，输出端与驱动模块的控制端连接；采样模块，输入端与驱动模块的输出端连接，采集驱动模块的输出电流；自检模块，输入端与驱动模块连接，输出端与控制模块连接。采样模块将驱动模块输出的电流反馈至控制模块，进而影响控制模块输出至驱动模块的控制信号，驱动模块输出至待测对象的电流更加准确。自检模块在刚上电时对驱动模块进行检测，以便控制模块确定驱动模块的工作状态，提高了对待测对象供电的稳定性。

天眼查资料显示，浙江芯晖装备技术有限公司，成立于2018年，位于嘉兴市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本5674.74万美元。通过天眼查大数据分析，浙江芯晖装备技术有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息72条，此外企业还拥有行政许可4个。

上海芯晖芯智技术有限公司，成立于2023年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯晖芯智技术有限公司专利信息6条。

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