芯粤能申请可变扭力机械式晶圆夹持器专利，可控制扭力保证每片晶圆受力均一致

国家知识产权局信息显示，广东芯粤能半导体有限公司申请一项名为“一种可变扭力机械式晶圆夹持器”的专利，公开号CN121368370A，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，本发明公开了一种可变扭力机械式晶圆夹持器，本发明涉及IC制造半导体硅晶圆搬运技术领域，包括第一夹爪，其包括第一手持端和第一夹持端，所述第一手持端和所述第一夹持端之间设置有铰链孔；第二夹爪，其包括第二手持端和第二夹持端，所述第二手持端和所述第二夹持端之间设置有铰链，所述铰链穿过所述铰链孔，将所述第二夹爪与所述第一夹爪铰接；限位装置，其设置在所述第一手持端与所述第二手持端之间，通过调节所述限位装置，调节并固定在通过所述第一夹持端和所述第二夹持端夹持晶圆时，所述第一手持端与所述第二手持端之间的抵近距离；本发明通过设置限位装置避免人为用力过大的操作将晶圆夹碎，可控制扭力保证每片晶圆受力均一致。

天眼查资料显示，广东芯粤能半导体有限公司，成立于2021年，位于广州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本45793.1035万人民币。通过天眼查大数据分析，广东芯粤能半导体有限公司参与招投标项目49次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息84条，此外企业还拥有行政许可99个。

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