全芯智造申请用于光刻信号模拟专利，有助于提高光刻信号的准确性

国家知识产权局信息显示，全芯智造技术股份有限公司申请一项名为“用于光刻信号模拟的方法、设备和存储介质”的专利，公开号CN121364610A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，根据本公开的实施例，提供了用于光刻信号模拟的方法、设备和存储介质。该方法包括：确定针对具有至少一个突出结构的基板的模拟光信号，模拟光信号指示光经过掩模后在基板上形成的信号；确定针对基板的拓扑信号，拓扑信号与至少一个突出结构相关联；以及基于模拟光信号和拓扑信号，确定针对基板的光刻信号。由此，可以考虑到至少一个突出结构与光刻胶的堆叠对在基板上的信号的影响，这有助于提高光刻信号的准确性。

天眼查资料显示，全芯智造技术股份有限公司，成立于2019年，位于合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本36000万人民币。通过天眼查大数据分析，全芯智造技术股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目65次，财产线索方面有商标信息198条，专利信息233条，此外企业还拥有行政许可5个。

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