上海图双精密装备申请基于极性特征的激光超声非接触式检测方法及系统专利，显著提升针对亚表层纳米尺度缺陷的检测信噪比与定位精度

国家知识产权局信息显示，上海图双精密装备有限公司申请一项名为“一种基于极性特征的激光超声非接触式检测方法及系统”的专利，公开号CN121385096A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本发明涉及微电子器件无损检测技术领域，具体涉及一种基于极性特征的激光超声非接触式检测方法及系统，包括：对样品表面进行二维扫描，并采集每个扫描点的时域衍射信号；分别从每个所述扫描点的所述时域衍射信号中，提取在预设时间窗口内的第一衍射峰的极性；基于各个扫描点的所述极性，计算极性空间统计特征；基于所述极性空间统计特征，生成缺陷概率热图。本发明通过提取和利用激光超声时域衍射信号中第一衍射峰的极性波动特征，将其转化为极性空间统计特征，并计算生成缺陷概率热图，有效克服了传统依赖信号幅值检测中易受激光功率波动和机械振动干扰的局限性，显著提升了针对亚表层纳米尺度缺陷的检测信噪比与定位精度。

天眼查资料显示，上海图双精密装备有限公司，成立于2017年，位于上海市，是一家以从事水利管理业为主的企业。企业注册资本2281.86万人民币。通过天眼查大数据分析，上海图双精密装备有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目29次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息117条，此外企业还拥有行政许可9个。

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