思锐智能申请ALD设备温度控制方法专利，减少等待温度稳定的时长

国家知识产权局信息显示，青岛思锐智能科技股份有限公司申请一项名为“一种ALD设备的温度控制方法、装置及电子设备”的专利，公开号CN121407070A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本申请提供了一种ALD设备的温度控制方法、装置及电子设备，涉及一般控制或调节系统技术领域，在针对下一时刻的ALD设备内的加热装置的功率控制进而控制ALD设备反应腔室内的温度时，通过递推最小二乘算法根据当前时刻的温度实测值、上一时刻的控制输出信号、参数误差估计协方差以及对应的遗忘因子对该控制输出信号产生的控制参数进行动态估计，进一步基于解耦算法对各个加热装置之间的耦合效应进行解耦处理，从而实现在ALD设备的温度控制的过程中，将各个温区之间的相互影响纳入控制过程，从算法上实现去耦合补偿，以达到优化温度控制效果的目的，减少等待温度稳定的时长，提高温度控制效率。

天眼查资料显示，青岛思锐智能科技股份有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本135298.7908万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目75次，财产线索方面有商标信息24条，专利信息177条，此外企业还拥有行政许可25个。

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