烁科中科信申请多层靶位批靶离子注入机专利，可兼顾提高产能、高效换片、高靶室洁净度和多角度注入工艺

国家知识产权局信息显示，北京烁科中科信电子装备有限公司申请一项名为“多层靶位批靶离子注入机”的专利，公开号CN121416394A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明公开了一种多层靶位批靶离子注入机，包括依次连通的片库腔体，机械手腔体，换片腔体和靶室腔体，片库腔体用于存放晶片，机械手腔内设有机械手；换片腔体内设有换片机构，用于实现晶片水平状态与垂直状态的相互切换和晶片在换片腔体与靶室腔体之间的传送；靶室腔体内设有旋转靶盘和旋转驱动件，旋转靶盘包括多个用于放置晶片的靶位，多个靶位沿旋转靶盘周向由内到外均匀排布为至少两层；旋转驱动件包括转轴和用于驱动转轴的电机，旋转靶盘通过转轴和一倾角机构可调角度地安装在靶室腔体侧壁上，以实现旋转靶盘在工艺注入角度与换片机构取放片角度之间切换。本发明可兼顾提高产能、高效换片、高靶室洁净度和多角度注入工艺。

天眼查资料显示，北京烁科中科信电子装备有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本24693.8634万人民币。通过天眼查大数据分析，北京烁科中科信电子装备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目405次，专利信息171条，此外企业还拥有行政许可4个。

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