弥费科技申请晶圆搬运装置控制方法专利，提高晶圆整体处理效率

国家知识产权局信息显示，弥费科技（上海）股份有限公司申请一项名为“晶圆搬运装置控制方法、装置和系统”的专利，公开号CN121443007A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本申请涉及一种晶圆搬运装置控制方法、装置和系统。所述方法应用于晶圆搬运装置控制系统，所述晶圆搬运装置控制系统连接至少一个所述晶圆搬运装置，包括：接收第一搬运指令，解析所述第一搬运指令得到晶圆盒第一信息、晶圆盒当前位置以及目的地；基于所述晶圆盒当前位置以及目的地确定目标晶圆搬运装置；基于所述晶圆盒第一信息、所述晶圆盒当前位置以及目的地生成第二搬运指令，并将所述第二搬运指令发送至所述目标晶圆搬运装置，所述第二搬运指令用于指示所述目标晶圆搬运装置将所述晶圆盒第一信息对应的晶圆盒从所述晶圆盒当前位置搬运至所述目的地。采用本方法能够提高晶圆整体处理效率。

天眼查资料显示，弥费科技（上海）股份有限公司，成立于2014年，位于上海市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本4657.9401万人民币。通过天眼查大数据分析，弥费科技（上海）股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目29次，财产线索方面有商标信息51条，专利信息173条，此外企业还拥有行政许可16个。

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