博顿光电申请射频离子源系统及其控制方法专利，实现能谱分布集中、低能量展宽的脉冲束流

国家知识产权局信息显示，中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司申请一项名为“射频离子源系统及其控制方法、电子设备及存储介质”的专利，公开号CN121460463A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本公开实施例公开了一种射频离子源系统及其控制方法、电子设备及存储介质，涉及离子源技术领域，该射频离子源系统包括：电源和控制模块、射频放电单元、离子引出单元以及中和电子源；其中，电源和控制模块生成射频信号和脉冲电压，将射频信号输出至射频放电单元，以及将脉冲电压输出至离子引出单元；射频放电单元中的工作气体在射频信号的激发下生成等离子体，并将等离子体输出至离子引出单元；离子引出单元中的等离子体在脉冲电压的驱动下通过离子引出单元，并生成脉冲离子束；中和电子源在脉冲电压的上升沿生成电子流，将电子流与脉冲离子束同步输出，得到脉冲束流。本公开实施例实现了能谱分布集中、低能量展宽的脉冲束流。

天眼查资料显示，中山市博顿光电科技有限公司，成立于2016年，位于中山市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本870.3913万人民币。通过天眼查大数据分析，中山市博顿光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目22次，财产线索方面有商标信息21条，专利信息161条，此外企业还拥有行政许可19个。

佛山市博顿光电科技有限公司，成立于2020年，位于佛山市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，佛山市博顿光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目17次，专利信息120条，此外企业还拥有行政许可11个。

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