思锐智能取得传输晶圆的真空机械手运动装置专利，大大提升了生产效率

国家知识产权局信息显示，青岛思锐智能科技股份有限公司取得一项名为“一种传输晶圆的真空机械手运动装置”的专利，授权公告号CN223899669U，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种传输晶圆的真空机械手运动装置，包括驱动件和真空腔室；真空腔室的外壁上开设有真空管路安装预留孔和氮气管路安装预留孔，顶部铰接有用于打开或关闭真空腔室的第一腔盖；真空腔室内设置有传动组件和滑轨支撑座，滑轨支撑座上滑动设置有滑块，滑块上连接有用于取放晶圆的机械手，驱动件的输出端与传动组件的输入端连接，传动组件的输出端与滑块连接，用于驱动滑块沿真空腔室的长度方向移动，且能够带动机械手的前端移动至真空腔室外部。本实用新型提供的装置可以高效完成在真空环境下取放晶圆的功能；提高了工艺的制作效率；优化了晶圆在工艺过程中的传输方式，改善了整个晶圆镀膜工艺的效果，大大提升了生产效率。

天眼查资料显示，青岛思锐智能科技股份有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本135298.7908万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目75次，财产线索方面有商标信息24条，专利信息179条，此外企业还拥有行政许可25个。

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