北京烁科中科信申请晶圆回温系统专利，显著提高了高温或低温晶圆回温至室温的效率

国家知识产权局信息显示，北京烁科中科信电子装备有限公司申请一项名为“一种晶圆回温系统”的专利，公开号CN121487569A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆回温系统，包括：换热器、分子泵以及用于放置待回温晶圆的片库；所述分子泵通过管道连接至片库，以实现片库内抽真空；所述片库设有排废管道，以实现片库内的气体外排；所述换热器的进气口通过惰性气体输入管与外部惰性气体源连接，换热器的出气口通过惰性气体输出管与片库连接，惰性气体在换热器内进行换热后，输送至片库内与晶圆进行接触换热，以实现晶圆回温。本发明具有结构紧凑、操作便捷、可靠性高等特点，显著提高了高温或低温晶圆回温至室温的效率。

天眼查资料显示，北京烁科中科信电子装备有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本24693.8634万人民币。通过天眼查大数据分析，北京烁科中科信电子装备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目406次，专利信息172条，此外企业还拥有行政许可4个。

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