国科天骥申请含自交联树脂电子束光刻胶组合物专利，改善线条易倒塌问题

国家知识产权局信息显示，国科天骥（山东）新材料有限责任公司申请一项名为“一种含自交联树脂的电子束光刻胶组合物及其制备方法和应用”的专利，公开号CN121500670A，申请日期为2024年9月。

专利摘要显示，本发明提供一种含交联树脂的电子束光刻胶组合物及其制备方法与应用。本发明的电子束光刻胶组合物包括两种不同体系树脂的共混物，其在电子束光刻胶基底树脂基础上掺杂了一种自交联树脂材料，在不影响后期电子束光刻基本工艺的条件下改善了线条易倒塌的问题。

天眼查资料显示，国科天骥（山东）新材料有限责任公司，成立于2019年，位于滨州市，是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，国科天骥（山东）新材料有限责任公司专利信息30条，此外企业还拥有行政许可16个。

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