天科合达申请石墨坩埚及液相法碳化硅长晶炉专利,提高了碳化硅单晶的生长质量

市场资讯 2026-02-14 11:51:10
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国家知识产权局信息显示,北京天科合达半导体股份有限公司;江苏天科合达半导体有限公司申请一项名为“一种石墨坩埚及液相法碳化硅长晶炉”的专利,公开号CN121496549A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本申请提供了一种石墨坩埚及液相法碳化硅长晶炉,涉及碳化硅长晶技术领域。通过沿坩埚本体的内壁设置阶梯结构,且在凹槽的底面设置层叠结构,在石墨坩埚的侧壁和底部形成与溶液接触的台阶形状,增加了溶液与石墨坩埚之间的接触面积,提高了炭的溶解速度和炭输送效率,降低了炭的传输距离,即便在较低温度下,碳化硅晶体生长也可以获得充足的炭源,提高了碳化硅单晶的生长质量。阶梯结构和层叠结构所呈现的形状,使得石墨坩埚形成了与溶液接触的W形状,多级内壁台阶和多级底面台阶的分布方式与溶液的液流方向相反,从而使得溶液对石墨坩埚的内壁冲击更强,进一步提高了炭溶解效率和炭输送效率,还抑制了碳化硅多晶在石墨坩埚底部的沉积。

天眼查资料显示,北京天科合达半导体股份有限公司,成立于2006年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本50600万人民币。通过天眼查大数据分析,北京天科合达半导体股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目313次,财产线索方面有商标信息42条,专利信息244条,此外企业还拥有行政许可149个。

江苏天科合达半导体有限公司,成立于2018年,位于徐州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本35000万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏天科合达半导体有限公司参与招投标项目93次,专利信息140条,此外企业还拥有行政许可27个。

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