中科汇珠申请半导体材料外延生长用石墨托盘专利，提高外延生长质量

国家知识产权局信息显示，中科汇珠（广州）半导体有限公司申请一项名为“半导体材料外延生长用石墨托盘”的专利，公开号CN121519153A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本申请公开了一种半导体材料外延生长用石墨托盘。半导体材料外延生长用石墨托盘包括托盘本体，所述托盘本体包括相对设置的第一表面与第二表面，所述第一表面开设有用于容置半导体晶圆的容置内槽，所述容置内槽整体上呈圆形槽，所述容置内槽的圆心与所述第一表面的圆心错位设置。本申请的半导体材料外延生长用石墨托盘能够实现晶圆绕反应室中心的偏心旋转，精确调控整片晶圆的温度场分布、厚度以及掺杂浓度，提高温度场分布、厚度以及掺杂浓度等系列均匀性，提高外延片整片的生长一致性，提高外延生长质量。

天眼查资料显示，中科汇珠（广州）半导体有限公司，成立于2022年，位于广州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。通过天眼查大数据分析，中科汇珠（广州）半导体有限公司参与招投标项目7次，专利信息14条，此外企业还拥有行政许可5个。

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