阿米精控科技申请用于晶圆表面缺陷检测的微位姿补正装置专利，确保晶圆对准方向与显微镜检测方向严格匹配

国家知识产权局信息显示，阿米精控科技（山东）有限公司申请一项名为“一种用于晶圆表面缺陷检测的微位姿补正装置”的专利，公开号CN121558767A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明涉及晶圆表面缺陷检测技术领域，且公开了一种用于晶圆表面缺陷检测的微位姿补正装置，包括固定单元、传动单元、偏摆单元、驱动单元和承载单元，所述传动单元包括X、Y、Z三个方向的宏动传动单元和微动单元；其中：所述宏动传动单元与固定单元连接，用于提供大范围宏动，在微动层面，所述微动单元的X、Y平面运动通过XY轴向精密定位平台内部的杠杆放大机构和柔性铰链串联实现，而在Z方向上，微动层面则采用四个以45°斜角阵列方式对称排布的桥式机构并联配合在XY轴向精密定位平台之上。本发明通过三轴宏动机构负责大范围快速定位，微动平台进行纳微米级动态调整，确保晶圆对准方向与显微镜检测方向严格匹配。

天眼查资料显示，阿米精控科技（山东）有限公司，成立于2021年，位于日照市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本3028.8429万人民币。通过天眼查大数据分析，阿米精控科技（山东）有限公司参与招投标项目10次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息34条，此外企业还拥有行政许可7个。

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