中科科仪申请分子泵及半导体刻蚀设备专利，确保刻蚀工况下分子泵不降速和不停机

国家知识产权局信息显示，北京中科科仪股份有限公司申请一项名为“一种分子泵及半导体刻蚀设备”的专利，公开号CN121557123A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体制造设备技术领域，公开了一种分子泵及半导体刻蚀设备，分子泵包括：转轴转动连接在泵壳组件内；多个静片组件沿轴向间隔固定在泵壳组件内壁上；多个动片组件沿轴向间隔固定在转轴上，动片组件与静片组件间隔交错设置；每个动片组件设有多个与设定平面倾斜的动叶片；设定平面与分子泵的轴向垂直；分子泵具有在预抽空工况下，动叶片与设定平面的倾斜角度为第一角度的第一状态；及在具有在刻蚀工况下，动叶片与设定平面的倾斜角度为第二角度的第二状态；第一角度大于第二角度。本申请通过调节动叶片的倾斜角度，确保刻蚀工况下在大流量进气时，分子泵不降速和不停机，维持高效抽气能力，以满足快速排空需求，保证工艺节拍。

天眼查资料显示，北京中科科仪股份有限公司，成立于2000年，位于北京市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。通过天眼查大数据分析，北京中科科仪股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目357次，财产线索方面有商标信息29条，专利信息264条，此外企业还拥有行政许可17个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。