合光光掩模科技申请用于光罩量测的辅助定位框架结构及光罩量测系统专利，提升了量测机台的量测精准度及量测速率

国家知识产权局信息显示，合光光掩模科技（安徽）有限公司申请一项名为“用于光罩量测的辅助定位框架结构及光罩量测系统”的专利，公开号CN121559806A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明涉及一种用于光罩量测的辅助定位框架结构及光罩量测系统，结构包括：框架本体，呈矩形构造，且所述框架本体的外形尺寸与待量测光罩的轮廓尺寸相同；四个套合标记，分别设置在所述框架本体的四角并用于与所述待量测光罩的四角处的对准标记进行套合；以及，至少一个条形部件，可移动地设置在所述框架本体上，所述条形部件上设有若干特征图形，所述特征图形被配置为量测基准点，以用于引导量测设备定位所述待量测光罩上的量测点位。在不影响光罩原有图形结构的情况下，通过外部引入与待量测光罩可精准套合的辅助定位框架结构，且该辅助定位框架结构含有已知的特征图形，降低了特征点位的选取难度，提升了量测机台的量测精准度及量测速率。

天眼查资料显示，合光光掩模科技（安徽）有限公司，成立于2023年，位于合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本190995.68万人民币。通过天眼查大数据分析，合光光掩模科技（安徽）有限公司参与招投标项目150次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息27条，此外企业还拥有行政许可19个。

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