欣奕华申请蒸镀线源遮挡装置专利,避免蒸发的物料在各腔室中附着堆积

市场资讯 2026-03-04 15:31:49
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国家知识产权局信息显示,合肥欣奕华智能机器股份有限公司申请一项名为“一种蒸镀线源遮挡装置及蒸镀系统”的专利,公开号CN121592997A,申请日期为2024年8月。

专利摘要显示,本发明公开了一种蒸镀线源遮挡装置,包括遮挡部以及用于驱动所述遮挡部靠近或远离蒸镀线源的驱动部;所述遮挡部包括挡板移动机构以及驱动所述挡板移动机构动作的导向机构,所述挡板移动机构包括底板以及在所述底板上水平滑动的固定块,所述固定块下方活动连接有遮挡板,所述导向机构包括用于驱动所述固定块在所述底板上水平滑动的导向限位板,本申请的遮挡装置布置于蒸镀腔室内,通过曲臂折叠机构实现装置的合并和展开,可充分利用线源蒸镀区域之外的空余空间,从而节省了传输腔室有效空间并减少部件之间干涉情况的发生,而且本申请的遮挡板在折叠时距离喷嘴极近,可以有效的进行遮挡,避免蒸发的物料在各腔室中附着堆积。

天眼查资料显示,合肥欣奕华智能机器股份有限公司,成立于2013年,位于合肥市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本34463.5686万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥欣奕华智能机器股份有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目173次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息430条,此外企业还拥有行政许可16个。

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