天科合达申请碳化硅单晶生长坩埚专利,有利于调整晶体面型,减少晶体相变
市场资讯 2026-03-12 18:14:25
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国家知识产权局信息显示,北京天科合达半导体股份有限公司;深圳市重投天科半导体有限公司申请一项名为“用于碳化硅单晶生长的坩埚、装置和生长碳化硅单晶的方法”的专利,公开号CN121629504A,申请日期为2024年9月。
专利摘要显示,本发明提供了一种用于碳化硅单晶生长的坩埚,包括坩埚盖和坩埚体,所述坩埚盖的上表面侧设置有凹槽,所述凹槽的一端至另一端向所述坩埚盖的下表面侧逐渐倾斜,且所述坩埚盖的下表面固定有碳化硅籽晶晶片,至少碳化硅籽晶晶片部分在所述凹槽的倾斜面对应的区域内。本申请还提供了一种用于碳化硅单晶生产的装置。进一步的,本申请还提供了一种生长碳化硅单晶的方法。本发明提供的坩埚通过在坩埚盖上表面侧开设具有倾斜面的凹槽,增大了径向温度梯度,降低了生长面的温度,有利于调整晶体面型,减少晶体相变;且该坩埚盖结构简单,适用性广,可实现不同尺寸、不同晶型的高质量单晶的生长。
天眼查资料显示,北京天科合达半导体股份有限公司,成立于2006年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本50600万人民币。通过天眼查大数据分析,北京天科合达半导体股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目308次,财产线索方面有商标信息42条,专利信息251条,此外企业还拥有行政许可149个。
深圳市重投天科半导体有限公司,成立于2020年,位于深圳市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本220000万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市重投天科半导体有限公司参与招投标项目63次,专利信息52条,此外企业还拥有行政许可119个。
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