歌尔微电子申请MEMS传感器专利，能够提高MEMS芯片的信噪比和拾取外界信号的能力

国家知识产权局信息显示，歌尔微电子股份有限公司申请一项名为“MEMS传感器、MEMS传感器的制备方法及电子设备”的专利，公开号CN121645106A，申请日期为2024年9月。

专利摘要显示，本公开实施例公开了一种MEMS传感器、MEMS传感器的制备方法及电子设备，所述MEMS传感器包括基底、MEMS芯片、第一壳体和第二壳体，所述基底上开设有第一通孔；所述MEMS芯片具有背腔，所述背腔与所述第一通孔连通；所述第一壳体和所述第二壳体分别设于所述基底的两侧，所述第一壳体至少盖设所述MEMS芯片，所述第一壳体与所述基底围成第一腔室，所述第二壳体与所述基底围成第二腔室，所述第一腔室与外界连通，所述第二腔室通过所述第一通孔与所述背腔连通。以此，第二腔室通过第一通孔与MEMS芯片的背腔连通，使得第二腔室和背腔共同形成MEMS芯片的后腔，能够增大MEMS芯片的后腔，从而能够提高MEMS芯片的信噪比和拾取外界信号的能力，也能够提高MEMS传感器的声学性能。

天眼查资料显示，歌尔微电子股份有限公司，成立于2017年，位于青岛市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本61243.8891万人民币。通过天眼查大数据分析，歌尔微电子股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目128次，专利信息1844条，此外企业还拥有行政许可23个。

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