盛吉盛申请气体分配板、气体分配装置、气体注入系统和传输腔室专利，最小化在闸阀开启时晶圆振动，提高晶圆的稳定性

国家知识产权局信息显示，盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司申请一项名为“气体分配板、气体分配装置、气体注入系统和传输腔室”的专利，公开号CN121653614A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本申请属于真空设备技术领域，公开一种气体分配板、气体分配装置、气体注入系统和传输腔室，气体分配板用于安装在半导体工艺的传输腔室，包括第一进气区域至第N进气区域，N为大于等于2的整数，任一进气区域都包括：进气孔，其一端与外接惰性气体气源连接；分配孔，多个分配孔均匀布置在所述进气区域上，与进气孔的另一端连通，用于将进气孔的气体分配进入到传输腔室内，距离泵送口的距离越近，进气区域上分配孔组成的进气面积越大。本申请可以使得各进气区域的压力平衡，从而抑制湍流现象的发生，从而最小化在闸阀开启时晶圆振动，提高晶圆的稳定性。避免腔室内残留的微颗粒随气流飞散并附着在晶圆表面，提高半导体工艺良率。

天眼查资料显示，盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司，成立于2018年，位于宁波市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本12463.7965万美元。通过天眼查大数据分析，盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目50次，财产线索方面有商标信息58条，专利信息251条，此外企业还拥有行政许可13个。

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