烁科中科信申请晶圆静电吸附装置及吸附方法专利，能够实现晶圆非接触、均匀且稳定固定

国家知识产权局信息显示，北京烁科中科信电子装备有限公司申请一项名为“一种晶圆静电吸附装置及吸附方法”的专利，公开号CN121666010A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆静电吸附装置，包括静电吸附电源和静电吸盘；静电吸附电源用于产生多路方波电压；静电吸盘包括上电极层、下电极层以及位于两者之间的电介质层；下电极层包含多个电极，分别与静电吸附电源输出的多路电压对应连接；静电吸盘通过多路电压在电介质层表面产生极化电荷，并在晶圆背面感应出相反极性的电荷，从而吸附晶圆。本发明还公开了一种晶圆静电吸附方法，包括：通过静电吸附电源产生六路方波电压；将六路电压分别对应连接至静电吸盘的六个电极；在静电吸盘的电介质层表面及晶圆背面感应出极性相反的电荷，产生静电吸附力将晶圆吸附于静电吸盘表面。本发明具有能够实现晶圆非接触、均匀且稳定固定等优点。

天眼查资料显示，北京烁科中科信电子装备有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本24693.8634万人民币。通过天眼查大数据分析，北京烁科中科信电子装备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目404次，专利信息179条，此外企业还拥有行政许可4个。

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