科阳半导体申请硅基LED器件分离芯片方法专利,将芯片良品率提升至98%以上

市场资讯 2026-03-16 14:34:07
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国家知识产权局信息显示,苏州科阳半导体有限公司申请一项名为“一种基于硅基LED器件分离芯片的方法”的专利,公开号CN121665801A,申请日期为2025年7月。

专利摘要显示,本发明涉及半导体制造技术领域,尤其是一种基于硅基LED器件分离芯片的方法,包括以下步骤S1~S7。本发明的一种基于硅基LED器件分离芯片的方法通过光刻与蚀刻工艺的协同设计,实现晶圆切割道的高精度图形化与深度控制,使单颗芯片在研磨减薄过程中沿预设路径自然分离。相较于传统机械裂片或激光切割工艺,该技术凭借微米级的蚀刻精度与无应力分离机制,可避免崩边、裂纹等外观缺陷及热效应导致的材料损伤,将芯片良品率提升至98%以上,尤其适用于Mini/Micro LED等高精度光电器件的规模化制造;本发明针对mini/microLED产品单片内的芯片数量在几万到几十万颗,大大提升作业效率和产能。

天眼查资料显示,苏州科阳半导体有限公司,成立于2010年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本45505.3521万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州科阳半导体有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目34次,财产线索方面有商标信息30条,专利信息238条,此外企业还拥有行政许可17个。

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