烁科中科信申请用于射频高能离子注入机的谐振聚束装置及离子注入机专利，纵向聚束效果好

国家知识产权局信息显示，北京烁科中科信电子装备有限公司申请一项名为“用于射频高能离子注入机的谐振聚束装置及离子注入机”的专利，公开号CN121662691A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本发明公开了一种用于射频高能离子注入机的谐振聚束装置及离子注入机，谐振聚束装置包括具有双间隙非对称电极结构的谐振聚束器，所述谐振聚束器设置于射频加速段的入口处，用于将直流离子束纵向聚束为微束团；所述双间隙非对称电极结构包括一个射频电极和两个地电极，所述射频电极位于两个地电极之间，其中一个地电极与射频电极之间构成第一间隙，另一个地电极与射频电极之间构成第二间隙，第一间隙与第二间隙的距离不同；其中，第二间隙的尺寸被配置为使束流通过该间隙的时间等于谐振聚束器的一个谐振周期。本发明具有纵向聚束效果好等优点。

天眼查资料显示，北京烁科中科信电子装备有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本24693.8634万人民币。通过天眼查大数据分析，北京烁科中科信电子装备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目404次，专利信息179条，此外企业还拥有行政许可4个。

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