博顿光电申请通过离子束刻蚀制备亚角秒级渐变基片专利，实现亚角秒级渐变基片的可靠加工

国家知识产权局信息显示，佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司申请一项名为“一种通过离子束刻蚀制备亚角秒级渐变基片的方法及设备”的专利，公开号CN121672947A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本申请提供了一种通过离子束刻蚀制备亚角秒级渐变基片的方法及设备。其中，方法包括以下步骤：确认离子束刻蚀基片时驻留时间与刻蚀深度的关系，以形成第一模型；根据基片的加工目标，确认基片沿离子束的刻蚀路径的刻蚀量分布；确认离子束沿刻蚀路径进行刻蚀时离子束的速度和加速度分别与时间的关系，以形成第二模型；根据刻蚀量分布和第一模型，确认驻留时间分布；根据驻留时间分布和第二模型，确认离子束刻蚀沿时间的速度分布和加速度分布；根据速度分布和加速度分布控制离子束对刻蚀路径进行刻蚀。本申请通过速度分布和加速度分布形成离子束刻蚀的加工配方，可以通过驻留时间获取目标刻蚀深度，实现亚角秒级渐变基片的可靠加工。

天眼查资料显示，佛山市博顿光电科技有限公司，成立于2020年，位于佛山市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，佛山市博顿光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目18次，专利信息123条，此外企业还拥有行政许可11个。

中山市博顿光电科技有限公司，成立于2016年，位于中山市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本870.3913万人民币。通过天眼查大数据分析，中山市博顿光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目22次，财产线索方面有商标信息21条，专利信息164条，此外企业还拥有行政许可19个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。