盛吉盛申请用于晶圆预清洗设备的防刻蚀装置专利，提高工艺良率

国家知识产权局信息显示，盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司申请一项名为“一种用于晶圆预清洗设备的防刻蚀装置及其使用方法”的专利，公开号CN121693027A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种用于晶圆预清洗设备的防刻蚀装置及其使用方法，其属于半导体设备技术领域，所述用于晶圆预清洗设备的防刻蚀装置包括绝缘体，所述绝缘体的顶面开设有凹槽，所述凹槽用于放置金属盘，所述凹槽侧壁上开设有第二硅棒孔，所述绝缘体的顶面竖直设有第一硅棒孔，所述第一硅棒孔和所述第二硅棒孔相交，所述第二硅棒孔内设有第二硅棒，所述第一硅棒孔内设有第一硅棒，所述第一硅棒和所述第二硅棒滑动配合，所述第二硅棒孔内设有弹簧，当所述弹簧被压缩时给第二硅棒施加靠近金属盘的力。本发明有效提高了硅棒和金属盘的接触稳定性，提高工艺良率。增加了绝缘体上表面的硅棒，使得其表面刻蚀程度减少，增加绝缘体的使用寿命。

天眼查资料显示，盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司，成立于2018年，位于宁波市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本12886.725504万美元。通过天眼查大数据分析，盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目50次，财产线索方面有商标信息57条，专利信息256条，此外企业还拥有行政许可13个。

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