合肥欣奕华申请大尺寸基板真空蒸镀腔室专利，实现大尺寸基板均匀性镀膜

国家知识产权局信息显示，合肥欣奕华智能机器股份有限公司申请一项名为“一种大尺寸基板真空蒸镀腔室及真空蒸镀装置”的专利，公开号CN121718837A，申请日期为2026年1月。

专利摘要显示，本发明公开了一种大尺寸基板真空蒸镀腔室，包括蒸镀腔室以及设置于所述蒸镀腔室内的线源装置，所述蒸镀腔室内至少设置有一个用于放置基板的基板架，所述基板架位于所述线源装置上方，所述蒸镀腔室一侧设置用于基板进出蒸镀腔室的基板上料口；所述线源装置下方通过线源驱动部与所述蒸镀腔室底部水平滑动连接，所述线源驱动部通过固定支撑座与所述蒸镀腔室固定连接，本申请的蒸镀装置，结合直线式真空蒸镀装置和圆盘是蒸镀装置的优点，使用圆盘式蒸镀装置的整体结构，使用线性蒸发源机构并在蒸发源机构上安装精密运动机构，可以沿基板方向进行往复运动，通过精确控制蒸发源机构移动速度来控制镀膜厚度和均一性，实现大尺寸基板均匀性镀膜。

天眼查资料显示，合肥欣奕华智能机器股份有限公司，成立于2013年，位于合肥市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本34463.5686万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥欣奕华智能机器股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目185次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息431条，此外企业还拥有行政许可16个。

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