合肥欣奕华申请非接触真空传输机构及蒸镀系统专利，消除机械摩擦导致的颗粒污染

国家知识产权局信息显示，合肥欣奕华智能机器股份有限公司申请一项名为“一种非接触真空传输机构及蒸镀系统”的专利，公开号CN121718836A，申请日期为2026年1月。

专利摘要显示，本发明公开了一种非接触真空传输机构，包括传输承载组件、驱动组件；所述传输承载组件包括下传输轨道、上传输轨道，所述下传输轨道上滑动连接有滑动承载部，所述滑动承载部与所述下传输轨道非接触配合，所述上传输轨道下方滑动连接有减重承载部，所述减重承载部与所述上传输轨道为非接触配合，所述滑动承载部与所述减重承载部之间设有用于放置基板的基板承载机构；驱动组件包括位于所述下传输轨道与滑动承载部之间和或位于所述上传输轨道与减重承载部之间，本申请滑动承载部与轨道通过磁悬浮实现非接触配合，消除机械摩擦导致的颗粒污染，降低设备维护成本，延长使用寿命。

天眼查资料显示，合肥欣奕华智能机器股份有限公司，成立于2013年，位于合肥市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本34463.5686万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥欣奕华智能机器股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目185次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息431条，此外企业还拥有行政许可16个。

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