东方晶源取得光学检测系统专利，提高光学检测系统的检测精度和检测效率

国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司取得一项名为“光学检测系统”的专利，授权公告号CN224052033U，申请日期为2025年4月。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种光学检测系统。其中光学检测系统包括：真空腔室，其内部放置有待检测样品，其顶部开设有窗口；平面镜，设置于窗口处，以封闭窗口；显微镜，设置于真空腔室外部；以及像差补偿装置，设置于显微镜和待检测样品之间，其包括位于平面镜上方的第一透镜结构和位于平面镜下方的第二透镜结构，配置成减小或消除平面镜引入的像差通过设置像差补偿装置。本实用新型的光学检测系统，能够减小或消除真空腔室窗口的平面镜引入的像差，提高光学检测系统的检测精度和检测效率；消除物镜的工作距离对窗口平面镜的厚度的限制，适用于各种工作距离的物镜，扩大了适用范围。

天眼查资料显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目49次，财产线索方面有商标信息172条，专利信息414条，此外企业还拥有行政许可18个。

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