天科合达申请碳化硅单晶制备装置及方法专利,减少碳化硅晶体表面缺陷
市场资讯 2026-03-27 20:04:10
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国家知识产权局信息显示,北京天科合达半导体股份有限公司;江苏天科合达半导体有限公司申请一项名为“一种碳化硅单晶的制备装置及制备方法”的专利,公开号CN121737849A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本申请提供一种碳化硅单晶的制备装置及制备方法,该制备装置包括坩埚和位于坩埚上方的籽晶托;坩埚包括由下至上分布的原料区、升华区和生长区,原料区用于放置碳化硅原料;籽晶托位于生长区的上方,籽晶托用于粘接籽晶,籽晶位于籽晶托和生长区之间;在籽晶托所在平面内,籽晶托包括第一部分和第二部分,第一部分被第二部分包围,在垂直籽晶托所在平面的方向上,第一部分具有第一厚度,第二部分具有第二厚度,第一厚度大于第二厚度。这样,第一部分的籽晶托相比第二部分能够具有更好的集热性,散热更差,使得热量能够在第一部分聚集,缩小第一部分和第二部分之间的径向温度梯度,进而减少碳化硅晶体表面缺陷,提高碳化硅质量。
天眼查资料显示,北京天科合达半导体股份有限公司,成立于2006年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本50600万人民币。通过天眼查大数据分析,北京天科合达半导体股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目312次,财产线索方面有商标信息42条,专利信息257条,此外企业还拥有行政许可149个。
江苏天科合达半导体有限公司,成立于2018年,位于徐州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本35000万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏天科合达半导体有限公司参与招投标项目91次,专利信息150条,此外企业还拥有行政许可27个。
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