天芯微申请半导体设备流量校准方法专利，实现了高精度、高效率的流量校准

国家知识产权局信息显示，江苏天芯微半导体设备有限公司申请一项名为“一种半导体设备流量校准方法”的专利，公开号CN121740193A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明提供一种半导体设备流量校准方法，涉及半导体设备的技术领域，所述半导体设备流量校准方法包括：通过所述流量控制器设定目标气体流量，并将气体以所述目标气体流量输送至所述流量校准器的校准腔内；以预设采样频率采集所述校准腔内的时域压力信号，通过将时域压力信号转换至频域压力信号进行选择性滤波，有效分离真实压力变化与各类噪声干扰，并选取压力变化率曲线的稳态段作为计算基准计算得到实测气体流量；将所述实测气体流量与所述目标气体流量比对，并根据比对结果对所述流量控制器进行校准。本发明的方案从根本上避免了传统多次平均法效率低下和噪声抑制不彻底的缺陷，实现了高精度、高效率的流量校准。

天眼查资料显示，江苏天芯微半导体设备有限公司，成立于2019年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16385.15万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏天芯微半导体设备有限公司参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息43条，专利信息185条，此外企业还拥有行政许可18个。

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