弥费科技申请晶圆搬运装置控制方法专利，提高晶圆整体搬运效率

国家知识产权局信息显示，弥费科技（上海）股份有限公司申请一项名为“晶圆搬运装置控制方法、系统及半导体制造搬运系统”的专利，公开号CN121742282A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本申请涉及一种晶圆搬运装置控制方法、系统及半导体制造搬运系统。方法包括：在晶圆搬运装置响应于第一命令，执行当前任务，将晶圆盒搬运到当前放货点的过程中，获取到第二命令，第二命令用于指示控制晶圆搬运装置搬运晶圆盒至目标放货点；响应于第二命令：若在晶圆搬运装置的当前任务还未进入向当前放货点的放货流程之前，则将当前任务的放货目标点由当前放货点更改为目标放货点，以控制晶圆搬运装置搬运晶圆盒至目标放货点；若晶圆搬运装置的当前任务已经进入向当前放货点的放货流程，则终止当前放货流程，控制晶圆搬运装置搬运晶圆盒至目标放货点。至少能够提高晶圆整体搬运效率，缩减实际搬运时间。

天眼查资料显示，弥费科技（上海）股份有限公司，成立于2014年，位于上海市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本4657.9401万人民币。通过天眼查大数据分析，弥费科技（上海）股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目30次，财产线索方面有商标信息58条，专利信息181条，此外企业还拥有行政许可17个。

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