阿米精控科技申请用于晶圆键合的多自由度自适应对准与调平装置专利，有效避免因压力过大而损坏上下晶圆、吸盘或者下方的运动台

国家知识产权局信息显示，阿米精控科技（山东）有限公司申请一项名为“用于晶圆键合的多自由度自适应对准与调平装置”的专利，公开号CN121772674A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明涉及晶圆加工装置技术领域，且公开了一种用于晶圆键合的多自由度自适应对准与调平装置，包括Z方向运动组件、吸盘、测量组件、压合组件和压上盖板，所述Z方向运动组件安装在压合组件的上端，所述压合组件的下端连接有压上盖板，所述压上盖板的下端配套安装有吸盘，所述Z方向运动组件和压合组件的内部安装有检测位移距离的测量组件。该用于晶圆键合的多自由度自适应对准与调平装置，能够实时检测并补偿压合组件在垂直位移过程中的键合位移，实现对键合位移的精准闭环控制，有效避免因压力过大而损坏上下晶圆、吸盘或者下方的运动台，为设备提供了可靠的过载保护，从而提高键合质量和良率。

天眼查资料显示，阿米精控科技（山东）有限公司，成立于2021年，位于日照市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本3028.8429万人民币。通过天眼查大数据分析，阿米精控科技（山东）有限公司参与招投标项目11次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息40条，此外企业还拥有行政许可7个。

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