天芯微申请半导体设备腔压调节方法专利，解决腔压异常识别灵敏度不足问题

国家知识产权局信息显示，江苏天芯微半导体设备有限公司申请一项名为“一种半导体设备腔压的调节方法”的专利，公开号CN121815982A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明提供一种半导体设备腔压的调节方法，所述调节方法包括：预先获取并存储多个工艺配方各自对应的标准压力时序数据，形成标准压力时序数据库；根据当前执行的工艺配方，从标准压力时序数据库中选取对应的标准压力时序数据；获取所述工艺腔室在执行当前工艺配方过程中的实测压力值；将实测压力值与所述标准压力时序数据在相应时间节点的目标压力值进行比较，若实测压力值偏离基于相应时间节点的目标压力值设定的压力容差范围，则开启所述工艺腔室的排气阀，通过供气管路向所述工艺腔室内通入高于大气压的调节气体。本发明解决了现有技术中因固定阈值判断方式和被动气路隔离机制导致的腔压异常识别的灵敏度不足以及缺乏主动压力调节能力的问题。

天眼查资料显示，江苏天芯微半导体设备有限公司，成立于2019年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16385.15万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏天芯微半导体设备有限公司参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息43条，专利信息185条，此外企业还拥有行政许可30个。

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