东方晶源申请在晶圆表面建立减速电场方法专利，能够大幅缩短晶圆表面电位的稳定时间

国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司申请一项名为“一种在晶圆表面建立减速电场的方法、产品及设备”的专利，公开号CN121899605A，申请日期为2026年1月。

专利摘要显示，提供一种在晶圆表面建立减速电场的方法、产品及设备。该方法包括：控制电源向待测晶圆施加设定预备电压并维持第一预定时间；控制电源向待测晶圆施加预先确定的使待测晶圆的表面电压达到期望电压所需的目标输出电压，并维持第二设定时间，其中，设定预备电压的幅值大于目标输出电压的幅值且小于待测晶圆可承受的电压幅值。本发明的技术方案通过给晶圆先施加大幅值电压，再施加低幅值电压的方式，能够大幅缩短晶圆表面电位的稳定时间，从而快速地在晶圆表面建立稳定的减速电场。

天眼查资料显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目49次，财产线索方面有商标信息175条，专利信息419条，此外企业还拥有行政许可18个。

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