江苏首芯半导体取得加热台及沉积设备专利，提升制备薄膜的可靠性

国家知识产权局信息显示，江苏首芯半导体科技有限公司取得一项名为“加热台及沉积设备”的专利，授权公告号CN224148170U，申请日期为2025年4月。

专利摘要显示，本公开实施例涉及半导体制造领域，提供一种加热台及沉积设备，加热台包括基座、第一加热管道、第二加热管道、第一控温机构以及第二控温机构，第一加热管道内的热传导液由第一流入管道流入第一加热段对基座进行加热，经第一流出管道流出；第二加热管道内的热传导液由第二流入管道流入第二加热段对基座进行加热，经第二流出管道流出，其中，第二加热段环绕设置在第一加热段的外围；第一控温机构为第一加热管道提供热传导液，并控制第一加热管道内的热传导液的温度以及流速；第二控温机构为第二加热管道提供热传导液，并控制第二加热管道内的热传导液的温度以及流速。本公开实施例至少可以减小加热台的制造成本，并提升制备薄膜的可靠性。

天眼查资料显示，江苏首芯半导体科技有限公司，成立于2023年，位于无锡市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1433.9071万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏首芯半导体科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息36条，此外企业还拥有行政许可22个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。