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天津中科晶禾申请寻位方法及键合设备专利,显著提升对准效率与整体键合效率
市场资讯 2026-04-25 10:20:37
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国家知识产权局信息显示,天津中科晶禾电子科技有限责任公司申请一项名为“寻位方法、键合方法、键合设备及计算机可读存储介质”的专利,公开号CN121925082A,申请日期为2026年3月。
专利摘要显示,本发明属于半导体器件键合集成技术领域,具体公开一种寻位方法、键合方法、键合设备及计算机可读存储介质。寻位方法先获取晶圆上各键合位多个对准标记的理论坐标,计算其几何中心坐标作为对应键合位的理论中心坐标。晶圆实际固定后,依据实际机械坐标与对应理论坐标的偏差计算坐标变换参数,据此修正理论中心坐标,得到校准后中心坐标。控制相机由初始位置直接移动至待键合键合位的校准后中心坐标,再依据各对准标记相对校准后中心坐标的分布关系,驱动相机向不同方向偏移,依次完成各对准标记寻位。本发明简化芯片与晶圆对准时的相机寻位流程,在确保对准精度的前提下,大幅减少图像数据处理量,显著提升对准效率与整体键合效率。
天眼查资料显示,天津中科晶禾电子科技有限责任公司,成立于2020年,位于天津市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本6000万人民币。通过天眼查大数据分析,天津中科晶禾电子科技有限责任公司参与招投标项目65次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息115条,此外企业还拥有行政许可7个。
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