上海微芸半导体申请补偿静电卡盘直流自偏压装置和系统专利，提高半导体加工的质量和稳定性

国家知识产权局信息显示，上海微芸半导体科技有限公司申请一项名为“一种补偿静电卡盘直流自偏压的装置和系统”的专利，公开号CN121922548A，申请日期为2024年10月。

专利摘要显示，本发明公开了一种补偿静电卡盘直流自偏压的装置和系统，本发明涉及半导体加工技术领域，包括射频阻抗匹配器、数值转换单元和模数转换电路，射频阻抗匹配器用于提供与工艺条件相关的中间参数，本发明的优点在于：通过获取中间参数、计算直流自偏压近似值、反馈并补偿电压等一系列操作，能够补偿因为直流自偏压产生的电极与晶圆的电势差变大的问题，从而改善静电卡盘吸附晶圆效果不佳的情况，提高半导体加工的质量和稳定性，通过根据不同的工艺条件，如射频功率、气体种类、气体流量、腔体压力等，准确获取中间参数，并通过函数关系计算出直流自偏压的近似值，进而实现对直流自偏压的精确补偿，提高了半导体加工设备的性能和效率。

天眼查资料显示，上海微芸半导体科技有限公司，成立于2021年，位于合肥市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本473.561858万人民币。通过天眼查大数据分析，上海微芸半导体科技有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息35条，此外企业还拥有行政许可3个。

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