烁科中科信申请离子束均匀性图像中尖角位置检测方法及系统专利，具有尖角检测快速精准等优点

国家知识产权局信息显示，北京烁科中科信电子装备有限公司申请一项名为“一种离子束均匀性图像中尖角位置的检测方法及系统”的专利，公开号CN121937518A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种离子束均匀性图像中尖角位置的检测方法及系统，方法包括步骤：S1.获取终端靶室内的束流流强数据，并根据束流流强数据绘制离子束的均匀性图像；S2.基于束流流强数据，计算均匀性图像在预设晶圆注入范围内的流强均值及均匀性值；S3.在均匀性图像内定位流强值的局部极大值点；S4.针对每个局部极大值点，判断其自身及其相邻的连续多个数据点的流强值是否均超过预设阈值；若是，则判定该局部极大值点为尖角，并记录其水平横坐标；S5.将记录的尖角的水平横坐标与预设晶圆注入范围的左右边界横坐标进行比较，以判断尖角是否进入所述晶圆注入范围。本发明具有尖角检测快速精准等优点。

天眼查资料显示，北京烁科中科信电子装备有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本24693.8634万人民币。通过天眼查大数据分析，北京烁科中科信电子装备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目406次，专利信息182条，此外企业还拥有行政许可4个。

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