思锐智能取得晶圆传输的偏心补偿系统专利，提高晶圆传输效率

国家知识产权局信息显示，青岛思锐智能科技股份有限公司取得一项名为“晶圆传输的偏心补偿系统以及晶圆传输设备”的专利，授权公告号CN224178577U，申请日期为2025年4月。

专利摘要显示，本申请提供了一种晶圆传输的偏心补偿系统以及晶圆传输设备，该偏心补偿系统包括：机械手本体、机械手手指、目标传感器、第一工位、第二工位、标定晶圆、目标晶圆和机械手控制器；目标传感器用于投射目标光束；机械手控制器用于记录机械手手指搬运标定晶圆和目标晶圆时触发目标传感器两次状态改变时的第一位置极坐标、第二位置极坐标、第三位置极坐标和第四位置极坐标；基于第二工位的工位极坐标、晶圆直径、第一位置极坐标、第二位置极坐标、第三位置极坐标和第四位置极坐标，确定目标极坐标；基于目标极坐标，控制机械手手指搬运目标晶圆移动至第二工位。该系统能够在晶圆传输过程中进行偏心补偿，提高晶圆传输效率。

天眼查资料显示，青岛思锐智能科技股份有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本135298.7908万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目83次，财产线索方面有商标信息24条，专利信息169条，此外企业还拥有行政许可25个。

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